中国科学院物理研究所

卡尔蔡司离子显微镜研发中心

演讲者简介:

魏东旺博士,物理化学(1996年),卡尔·蔡司美国公司离子显微镜研究与开发中心高级研究员。

他曾在中国科学院山西煤炭化学研究所,中国科学院高新技术研究开发局,匹兹堡大学和研究所等大学和研究所工作。新泽西技术大学和哈佛大学。

他于2006年初加入卡尔·蔡司美国公司,担任透射电子显微镜产品经理和应用技术办公室(北美)总监。他目前是离子显微镜研究中心的高级研究员,致力于离子场显微镜的研究。

他发表了约50篇学术论文,其中约10篇发表在Cell,Nature Materials,NanoLetters,Small,Advanced Materials,ACS-Nano和其他领先的学术期刊上。

报告摘要:

最近,基于气体场离子(GFIS)源的高亮度(109A / cm2)。

先生),缩小(0。

5纳米氦/氖离子束技术已得到广泛开发,并广泛用于微/纳米处理领域,特别是用于10 nm以下的表征和处理能力。这表明其他离子束技术不好,并且在纳米材料以及纳米器件加工和表征领域受到广泛关注。

本报告简要介绍了气相场离子源技术的原理,氦/氖离子束的产生机理,性能以及相关设备,并重点介绍了当前在应用中的重要成果。氦/氖离子束技术在微/纳米加工领域的应用

它专注于直接以小于10纳米的规模处理材料和设备的技术,基于氦/氖离子束的离子束曝光技术以及氦离子束对材料的辐射损伤。新的方向和应用领域,例如表征氖,非导电,磁性和生物材料的高分辨率图像,以及通过离子束辐照/注入改变材料/设备结构和性能。

该报告为感兴趣的研究人员提供了这种新型纳米加工技术的基本原理,机理和典型应用,从而在研究纳米级边界方面获得了重要的应用。